LED襯底CMP材料整體解決方案
SAPOL拋光液:適用于藍寶石、陶瓷、鉭酸鋰、玻璃等非金屬材料CMP的拋光液。
COPOL拋光液:適用于化合物半導體CMP的拋光液。 
無紡布拋光墊:通常被使用于粗磨或中磨,具有一定程度的平坦性和平滑性。 
阻尼布拋光墊:通常被使用于高平滑性,低欠陷性的精磨工序。
固態(tài)蠟: 粘結(jié)牢固,無氣泡或高低不均等不良,可解決加工過程中因粘結(jié)造成的裂片等問題。
吸附墊:將工件黏附在制具上,潤濕后特殊微孔吸附住工件,使工件在加工過程中固定不脫落。
分散劑:可均一分散難于溶解于液體的固體及液體顆粒,同時防止顆粒的沉降凝聚。
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